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EUVの開発の歴史 1997年のEUV LLCから23年、2020年に量産へ

1997年9月11日、インテルなどの米企業連合と米エネルギー省の3つの研究所が、EUV露光の共同開発を発表しました。民間が3年で2億5000万ドルを出す計画で、EUVが量産の工場で使われ始めたのは23年後の2020年でした(計算)。