ASMLの成り立ち　1984年にフィリップスとASMIの合弁で発足、2020年にEUVが量産へ

ASMLは、ウエハーに回路の模様を焼き付ける露光装置の会社です。本社はオランダのフェルトホーフェンにあります。会社の年表をたどると、創業から数年で行き詰まりかけた会社が、液浸とEUVの2つの技術で業界の中心になった流れが見えます。

合弁で始まり、危機を越える

会社の年表によると、ASMLは1984年に、フィリップスとASMインターナショナルが合弁でASMリソグラフィを設けたことから始まりました。最初の製品はステッパーのPAS 2000です。1985年には従業員が約100人になり、フェルトホーフェンの新しい事務所と工場に移りました。

1986年にはステッパーPAS 2500を出し、レンズをつくる独カールツァイスとの協力を始めています。1988年には、株主の撤退と業界の不況で会社がなくなりかけ、フィリップスの最後の融資で持ちこたえました。

1990年代に出したPAS 5500で、利益を出すのに必要な主要な顧客をつかんでいます。1995年にはフィリップスから独立し、アムステルダムとニューヨークの取引所に上場しています。フィリップスは上場の際に持ち株の半分を手放しました。

2つの台と液浸

2001年、ウエハーを載せる台を2つ持つ「TWINSCAN」を出しました。一方の台で露光している間に、もう一方で次のウエハーを測れる仕組みです。同じ年に米シリコンバレー・グループの買収を終えています。

2003年には、レンズとウエハーの間を水で満たす液浸の装置TWINSCAN AT:1150iを出し、2006年に量産用の液浸装置XT:1700iを出荷しました。2007年に出荷したXT:1900iの開口数は1.35で、業界で最も高い値でした。

EUVへの長い道

ASMLのEUVの主な節目

年	出来事
2010年	EUVの試作機NXE:3100を、アジアの半導体メーカーの研究施設に出荷
2013年	光源をつくる米サイマーを買収。第2世代のNXE:3300を出荷
2015年	第3世代のNXE:3350を出荷
2016年	顧客が量産向けのNXE:3400をまとめて発注し始める
2020年	EUVが量産に入り、100台目のEUVを出荷
2023年	開口数0.55の高NAのEUV（EXE）の初号機を出荷

出典はASMLの年表。

創業の1984年から、EUVが量産に入った2020年までは36年です（計算）。2025年には、初めての先端パッケージ向けの製品TWINSCAN XT:260を出荷しました。

いまの規模

2026年7〜9月期の売上高は116億6200万ユーロで、純利益は49億6000万ユーロ、売上総利益率は57.5%でした。この四半期に新しい露光装置を113台、中古の装置を8台販売しています。

会社は10〜12月期の売上高を142億〜152億ユーロ、2026年通年を440億〜450億ユーロと見込んでいます。通年の売上総利益率は約56%の見通しです。従業員はフルタイム換算で4万5500人を超えています。