日本の装置メーカーの研究開発費、東京エレクトロンは今期3350億円で21%増　アドバンテストは46%増の1140億円を計画

日本の半導体製造装置メーカーが、研究開発費を増やしています。10月末までに出そろった決算資料で、主な6社の今期の計画はいずれも前の期を上回りました。最も大きいのは東京エレクトロンの3350億円で、2位のアドバンテストの約3倍です（計算）。

6社の今期の計画

日本の主な装置メーカーの研究開発費（億円）

会社	決算期	前の期の実績	今期の計画	増加率
東京エレクトロン	2027年3月期	2,778	3,350	21%（計算）
アドバンテスト	2027年3月期	781	1,140	46%
SCREENホールディングス	2027年3月期	377	430	14%（計算）
ディスコ	2027年3月期	—	約380	—
レーザーテック	2027年6月期	—	200	—
KOKUSAI ELECTRIC	2027年3月期	—	約200	1割程度

出典：各社の2026年10月の決算説明資料。「—」は資料に載っていないもの。SCREENの前の期は377億7700万円。

東京エレクトロン　四半期で852億円

東京エレクトロンの研究開発費は、7〜9月に852億円で、前年同期から17.3%増えました。4〜6月の720億円と合わせ、上期は1573億円です。2027年3月期の売上高の予想は3兆7000億円で、研究開発費の計画はその9.1%にあたります（計算）。同じ期の設備投資は1900億円を計画しています。宮城県大和町に建てている宮城生産革新センターは、2027年夏に完成する予定です。

アドバンテスト　7月の計画から40億円上積み

半導体のテスターのアドバンテストは、7月時点で1100億円としていた今期の研究開発費の計画を、10月に1140億円へ上げました。前の期の781億円から359億円増えます。四半期では4〜6月が215億円、7〜9月が234億円でした。売上高が7〜9月に4777億円まで伸びたため、売上に対する比率は4.9%に下がっています。設備投資も今期600億円と、前の期の343億円から75%増やす計画です。

SCREENとKOKUSAIは工場と拠点にも投資

洗浄装置のSCREENホールディングスは、上期の研究開発費が215億6500万円で22.3%増えました。半導体製造装置（SPE）の事業が中心です。設備投資は京都府長岡京市の成長投資で、通期予想を7月の430億円から580億円に増やしました。

成膜装置のKOKUSAI ELECTRICは、7〜9月の研究開発費が53億円で、売上収益の6.0%でした。今期は前の期より1割程度多い約200億円を見込みます。米オレゴン州では総額200億円でデモセンターを建てており、2027年1月の操業をめざします。このため設備投資は前の期より7割程度多い約290億円になる見通しです。

レーザーテックとディスコ

マスクの検査装置のレーザーテックは、2026年7〜9月の研究開発費が47億9800万円で、前年同期から56.2%増えました。売上高に対する比率は11.9%です。通期は200億円を計画し、売上高の予想2900億円の6.9%にあたります（計算）。会社は、ロジックとメモリーの各社でHigh-NA EUV露光機の導入計画が具体化しているとしています。

切断・研削の装置のディスコは、研究開発費を約380億円、設備投資を約330億円と見込み、4月の計画から変えていません。会社は、会社を強くするのに必要な投資を続けるとし、高い水準の設備投資が続くとしています。

今後の注目点

• 次の10〜12月期の決算で、各社の研究開発費の計画に対する進み具合が示されます。
• KOKUSAIの米オレゴン州のデモセンターは2027年1月の操業をめざしています。
• 東京エレクトロンの宮城生産革新センターは2027年夏に完成する予定です。