ラピダスの装置の導入の歩み　2024年12月にEUVを搬入、2026年度は短TATの生産システムと搬送を試作ラインで検証

ラピダスは2027年度後半の2nm世代の量産をめざし、千歳市の工場「IIM-1」に装置を入れてきました。2024年12月にEUV露光装置の設置を始めてから、ほぼ2年がたちます。2026年4月11日に公表した年度計画では、量産に向けた生産システムの検証を今年度の柱にしています。

装置の導入の流れ

ラピダスの主な装置・設備の導入（会社の発表）

時期	出来事
2023年9月	IIM-1の起工式
2024年10月	後工程の拠点（RCS）で、クリーンルームの工事を始める
2024年12月18日	IIM-1でEUV露光装置NXE:3800Eの設置を始める
2025年4月	IIM-1で試作ライン（パイロットライン）が稼働。RCSで装置の搬入を始める
2025年度中	300mmのウエハーで2nmのGAAトランジスタの動作を確認。早期の顧客に試作用の設計キット（PDK）を提供
2025年12月	RCSの一部が稼働。600mm角のパネルでRDLインターポーザーを試作
2026年4月11日	IIM-1の隣に解析センターを開設。RCSが本格稼働
2026年度	短TATの生産システムの装置、搬送、生産管理のシステムを試作ラインに入れて検証

出典：ラピダスの発表（2024年12月18日、2026年4月11日の2件）。

全部を1枚ずつ処理する

EUVは波長13.5nmの光を使う露光装置で、ArF液浸の193nmより短い光で細かい回路を描きます。光を通すレンズの代わりに、反射型のマスクと鏡で光を導きます。ラピダスは2024年12月の発表で、EUVを量産に使うのは国内で初めてだと説明しました。千歳の新千歳空港で開いた式典には、ASMLのジム・クーンメン上級副社長も出ています。

ラピダスの生産方式の特徴は、全ての製造装置でウエハーを1枚ずつ処理することです。複数の枚数をまとめて流す工程を減らし、注文から出荷までの期間を縮める狙いがあります。会社はこれを「RUMS（Rapid and Unified Manufacturing Service）」と名づけています。2024年12月の発表の時点で、EUVのほかに先端の製造装置と、全自動の搬送システムを入れるとしていました。2026年度に検証する「短TATの生産システム」は、この仕組みの量産版にあたります。

後工程と解析の拠点もそろう

後工程の研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions（RCS）」は、IIM-1の近くにあるセイコーエプソン千歳事業所の中にあります。2025年4月に装置の搬入を始め、試作ラインをつくりました。600mm角のパネルで有機の絶縁材料を使ったRDLインターポーザーを試作し、会社は業界で初めてだとしています。2026年度は、2nm世代のチップ向けの2.xDと3Dのパッケージの製造技術を開発します。

同じ4月11日には、IIM-1の隣に解析センターを開きました。物理・化学の解析、電気の特性、信頼性の評価を受け持ちます。最先端の電子顕微鏡を置ける基準で設計し、耐震性能は建築基準法の1.5倍です。装置の台数は公表していません。

資金の手当て

装置を入れる資金は、国の研究委託と出資、民間の出資でまかないます。2026年2月27日には、情報処理推進機構（IPA）から1000億円、民間32社から1676億円、計2676億円の出資を受けたと発表しました。資本金と資本準備金の合計は2749億5000万円です。6月5日には、国が追加で1500億円を出資すると発表しています。

今後の注目点

• 2026年度の欠陥密度の目標を達成できるか。会社は数値の目標を公表していません。
• 顧客の設計に使う本番の設計キット（PDK）の公開。
• 小池淳義社長は2027年の量産開始を目標に掲げ、会社は2027年度後半からの量産をめざしています。