マスク検査装置の市場　レーザーテックの年間受注は1052億円から4000億円超へ　High-NA EUVが追い風

フォトマスクは、露光装置で回路の模様をウエハーに写すための原版です。1枚のマスクで多くのウエハーを露光するため、マスクに欠陥があると同じ不良が大量に出ます。マスク検査装置は、マスクの模様の欠けや余分、異物、素材の中の欠陥を探します。

誰が使うのか

マスクは、専業のマスクの会社か、半導体メーカーの社内のマスク工場でつくります。日本の大日本印刷とTOPPANホールディングスのグループは、専業のマスクの大手です。先端のロジックでは、受託生産の大手や大手のロジックのメーカーが、自社のマスク工場で最先端のマスクをつくります。

マスク検査装置の主な使い手と使う場面

使い手	使う場面
マスクをつくる工場（専業・社内）	マスクを出荷する前の模様の検査、素材の検査
半導体の工場	使っている間についた異物や変化の定期の検査
素材のメーカー	回路を描く前の素材（ブランクス）の欠陥の検査

EUVのマスクは、光を反射する多層の鏡でできており、層の中に埋もれた欠陥は表面から見えにくくなります。このため、露光と同じEUVの光を当てて調べる方式の装置が要ります。レーザーテックの「ACTIS」がこの方式です。米KLAもマスクの検査装置をつくっています。

レーザーテックの受注の波

レーザーテックの年間受注高（億円）

決算期	受注高
2022年6月期	3,237
2023年6月期	1,865
2024年6月期	2,727
2025年6月期	1,052
2026年6月期	2,375
2027年6月期（見通し）	4,000〜5,000

受注は、顧客がEUVの新しい世代のマスクの工場を整える時期に集中し、年ごとの振れが大きくなります。会社は2026年10月の決算説明会で、見通しを上げた主な理由として、先端のロジックの工場向けの「ACTIS A200HiT」、マスク工場向けの「ACTIS A300」、EUVとDUVのマスク向けの「MATRICS」を挙げました。1.4nm相当の技術の開発が進んでいることにも触れています。

売上は遅れて立つ

受注から売上までには時間がかかります。レーザーテックの2026年7〜9月期の売上高は403億6900万円で、前年同期比25.5%減りました。半導体関連装置が238億円、保守などのサービスが160億円です。四半期の売上高は、2026年4〜6月期の609億円から減りました。

四半期の売上高は、2024年10〜12月期の922億円から2025年1〜3月期の398億円へと半分以下になるなど、装置の検収の時期で大きく動きます。その後は826億円、541億円、740億円、412億円、609億円と上下を繰り返し、2026年7〜9月期は403億円でした。

2027年6月期の通期の予想は、売上高2900億円、営業利益1250億円です。研究開発費は200億円を計画しています。

今後の注目点

• レーザーテックの次の決算は、2026年10〜12月期の発表です。受注の見通しを再び動かすかが焦点です。
• KLAは2026年10〜12月期の売上を47億ドル（上下2億ドル）と見込んでいます。