検査・計測装置の市場　KLAの7〜9月期は41億ドル、日立の計測分析は受注77%増、レーザーテックは受注見通しを上げる

検査・計測装置は、半導体の前工程で、ウエハーの上の異物や模様の欠けを見つけ、線の幅や膜の厚さ、層の重なりのずれを測る装置です。問題を早く見つけるほど、不良のウエハーを後の工程に流さずにすみます。回路が細かくなり、層が増えるほど、検査と計測を入れる回数も増えます。

3社の得意分野

検査・計測装置の主な会社と得意分野

会社	主な装置
KLA（米国）	ウエハーの欠陥検査、マスクの検査、重ね合わせや膜厚の計測
日立ハイテク（日立製作所の子会社）	電子顕微鏡で回路の線幅を測るCD-SEM、欠陥の観察、エッチング装置
レーザーテック	EUVとDUVのマスクの検査、マスクの素材の検査

このほか、米アプライドマテリアルズも電子線の検査装置をつくり、米オント・イノベーションは計測と後工程の検査の装置を手がけます。

7〜9月期の数字

KLAの2026年7〜9月期の売上は41億3600万ドルで、前年同期の32億970万ドルから増えました。うち半導体の工程管理の装置の部門は37億5430万ドル、プリント基板と部品の検査の部門は2億4220万ドルです。純利益は15億4860万ドルでした。

日立製作所の計測分析システムの部門は、同じ期の売上収益が2238億円で前年同期比6%増、調整後の利益（Adjusted EBITA）が341億円でした。受注高は3296億円と77%増え、AI向けの需要で半導体の製造・計測・検査の装置が伸びたと説明しています。

レーザーテックの7〜9月期の売上高は403億6900万円で、前年同期比25.5%減りました。うち半導体関連装置は238億円、サービスは160億円です。

3社の2026年7〜9月期

会社	売上	前年同期比	補足
KLA	41億3600万ドル	+29%（計算）	工程管理の装置が37億5430万ドル
日立 計測分析システム	2238億円	+6%	受注高3296億円（+77%）
レーザーテック	403億6900万円	△25.5%	半導体関連装置238億円

受注の波は会社でずれる

レーザーテックの受注は年によって大きく動きます。年間の受注高は2022年6月期の3237億円から、2023年6月期に1865億円、2025年6月期に1052億円まで下がり、2026年6月期は2375億円でした。会社は、ロジックとメモリの各社でHigh-NA EUV露光装置の導入の計画が具体的になり、マスクの検査装置の需要が増えたとして、2027年6月期の受注の見通しを期初の3000億〜4000億円から4000億〜5000億円に上げました。

売上が受注に遅れて立つため、7〜9月期の売上は減っても、受注の見通しは2022年6月期の3237億円を上回る水準です。KLAと日立は、売上と受注がともに伸びている局面にあります。

今後の注目点

• KLAは2026年10〜12月期の売上を47億ドル（上下2億ドル）と見込んでいます。
• 日立は計測分析システムの2027年3月期の売上収益を9000億円、調整後の利益を1240億円と見込んでいます。
• レーザーテックの2027年6月期の通期予想は、売上高2900億円です。