エッチング装置の市場　東京エレクトロンは新規装置売上の36%、ラムの7〜9月期は82億ドル

エッチング装置は、半導体の前工程で、膜の不要な部分を取り除く装置です。露光と現像でつくったレジストの模様をマスクにして、その下の膜を削ります。主流は、真空の部屋でガスをプラズマにし、イオンと反応性の高い粒子で膜を削るドライエッチングです。

削るものと難しさ

削る相手によって、装置は大きく2つに分かれます。シリコンや金属を削る導体のエッチングと、酸化膜などを削る絶縁膜のエッチングです。メモリでは、深く細い穴をまっすぐ掘る工程が増えています。3次元のNANDでは何百層もの膜を一気に貫く穴、DRAMでは電気をためる部分（キャパシタ）の深い穴が要ります。

東京エレクトロンは2026年10月30日の決算説明会で、NANDの穴を掘る極低温のエッチング装置の量産の受注が順調だと説明しました。DRAMの先端の世代では、キャパシタのマスクの工程で装置の採用を1社で獲得したとしています。

主要各社の数字

エッチング装置の主要な供給元は、米ラムリサーチ、東京エレクトロン、米アプライドマテリアルズです。東京エレクトロンは2026年の統合報告書で、プラズマエッチングの市場シェアを2位、ガスを使う化学的なエッチングを1位としています（同社推定）。

東京エレクトロンの新規装置の売上に占めるエッチング装置の比率

決算期	新規装置の売上（億円）	エッチング装置の比率
2022年3月期	14,990	39%
2024年3月期	13,727	32%
2025年3月期	18,611	35%
2026年3月期	17,754	36%

2026年3月期の比率から計算すると、同社のエッチング装置の新規の売上は約6390億円です（計算）。

ラムリサーチは、エッチングと成膜の装置を主力とする米国の会社です。2026年7〜9月期の売上は82億1900万ドル、売上総利益率は52.3%、営業利益率は40.0%でした。装置の売上は57億3300万ドルで、保守や部品などの売上は24億8700万ドルです。

ラムリサーチの四半期業績（百万ドル）

項目	2025年7〜9月	2026年4〜6月	2026年7〜9月
売上	5,324.2	6,722.2	8,219.4
うち装置	3,547.6	4,249.8	5,732.9
うち保守・部品など	1,776.6	2,472.4	2,486.5
純利益	1,568.7	2,277.3	2,753.1

ラムの7〜9月期の売上の地域別の構成は、中国が35%、韓国が20%、台湾が18%、日本が9%、米国が8%でした。中国の比率は前年同期の43%から下がり、前の期の26%からは上がっています。

今後の注目点

• ラムリサーチは2026年10〜12月期の売上を86億ドル（上下4億ドル）、売上総利益率を52.5%前後と見込んでいます。
• 東京エレクトロンは2027年3月期の売上高を3兆7000億円と予想しています。次の決算は2026年10〜12月期の発表です。