ウエットエッチングとは　薬液で膜を溶かす工程、窒化膜には高温のリン酸

ウエットエッチングは、ウエハーを薬液に浸したり、回しながら薬液をかけたりして、膜を溶かして取り除く方法です。ラムリサーチは、薬液を使う工程は洗浄のほか、レジストなどの除去やエッチングにも使えると説明しています。細かい回路の形を作る工程では、プラズマを使うドライエッチングが主に使われます。

横にも溶ける、選んで溶かせる

薬液は、膜のどの向きにも同じように反応します。このため、レジストの模様の下にも横から入り込み、模様より広く溶けます。細く深い穴や溝を作るのには向きません。

一方で、薬液の種類を選べば、溶かしたい膜だけを溶かし、下の膜はほとんど溶かさないようにできます。プラズマで削るときのような表面の傷みが少ないのも特徴です。このため、膜をまるごと取り除く工程や、ドライエッチングの後の仕上げに使われます。

ウエットエッチングの使われ方の例（各社の説明から）

場面	内容	会社
ウエハーを作る途中	削った表面の傷んだ層を薬液で取り除く	SUMCO
先端デバイスの量産	1枚ずつ処理する高温のリン酸のエッチング	芝浦メカトロニクス
フォトマスクの製造	マスクのエッチング・洗浄の装置	芝浦メカトロニクス

まとめて浸すか、1枚ずつか

1つの方法は、何枚ものウエハーを薬液の槽にまとめて浸すバッチ式です。もう1つは、ウエハーを1枚ずつ回しながら薬液をかける枚葉式です。芝浦メカトロニクスは、窒化膜を溶かす高温のリン酸のエッチングを枚葉式で行う装置を手がけ、先端品の量産に加え、古い世代の製品向けの受注も伸びているとしています。

装置メーカーの数字

芝浦メカトロニクスの2026年4〜9月の売上高は432億円で前年同期比2%増、営業利益は61億円で19%減でした。受注高は791億円で、92%の増加です。半導体の前工程では、シリコンウエハー向けとマスク向けの装置の受注が堅調でした。

洗浄の装置の大手のSCREENホールディングスは、2026年4〜9月の売上高が3,084億円で12.5%増えました。先端のロジックとメモリーで洗浄の重要さが増し、前工程の装置の市場全体を上回って売上を伸ばせる機会があると説明しています。同社は前工程の装置の市場を、2026年に1,550億ドル、2027年に2,000億ドル規模と見ています。

関連する用語

• ドライエッチング：プラズマで真下に削る方法。細かい形を作る主流です。
• 枚葉式：ウエハーを1枚ずつ処理する方式。
• 選択比：削りたい膜と、残したい膜の削れる速さの比。