半導体工場の自動化にAIとロボット　ラピダスは「AIネイティブ」の工場、ラムの保守ロボットは精度2倍超

半導体の工場では、ウエハーを入れた容器を天井の搬送路で運び、装置への出し入れも機械が行います。人が触れると、ちりや静電気で不良が出るためです。いま自動化が進んでいるのは、その先の部分です。工程の条件の調整、装置の保守、設計と製造のデータのやりとりに、AIとロボットを使う動きが出ています。

ラピダスの「AIネイティブ」の工場

2nmの半導体の量産をめざすラピダスは2026年7月17日、米ケイデンス・デザイン・システムズとの協業を発表しました。小池社長はこの発表で、千歳の工場「IIM（Innovative Integration for Manufacturing）」は、完成時には半導体の製造のほぼすべての工程にAIを組み込んだ「AIネイティブファウンドリ」になると述べました。

協業では、ラピダスのAIの設計支援ツール「Raads」と、ケイデンスのAIエージェントを統合します。設計の初期の検討から、実装、最終の確認までの作業を、AIのエージェントが取りまとめて進める形です。設計の所要時間を最大2倍速くすることを目標にしています。

ラピダスのAIの設計支援ツール「Raads」（会社の発表から）

ツール	役割	発表
Raads Generator	仕様から回路の設計データ（RTL）を作る、言語モデルを使う設計ソフト	2025年12月
Raads Predictor	電力・性能・面積をすばやく見積もり、設計の誤りを探す	2025年12月
Raads Navigator、Raads Indicator	品質の確認を強め、設計の問題の解決を助ける	2026年7月

ラピダスは2025年12月の発表で、Raadsを既存の設計ソフトと組み合わせると、設計の時間を50%、設計の費用を30%減らせる見込みだとしました。製造の側のデータを設計に返し、両方を一緒に最適化する狙いです。

装置の保守をロボットに

工場の装置は、部品の交換や清掃などの保守を定期的に行います。米ラムリサーチは2024年12月10日、半導体の装置の保守を手伝う協働ロボット「Dextro」を発表しました。技術者が操作する移動式の台にロボットの腕を載せ、装置から装置へ動かして使います。

• 消耗部品の取り付けと圧着：手作業の2倍超の精度
• 真空を保つためのボルトの締め付け：手作業では最大5%の誤りが出るとラムは説明しています。
• 精度：1マイクロメートル未満の繰り返しの精度
• 対象の装置：絶縁膜のエッチング装置「Flex」のGとHのシリーズ。2025年以降に他の装置へ広げる計画

Dextroは世界の複数の先端の工場に入っています。韓国サムスン電子のメモリーのエッチングの技術の責任者は、誤りのない保守が、生産のばらつきと歩留まりの改善につながると述べています。

今後の注目点

ラピダスは、2nmの量産を2027年度後半に始める計画です。工場の量産の立ち上げに合わせ、どこまでの工程をAIで動かすかが示されます。ラピダスの資本金と資本準備金の合計は、2026年6月5日時点で4,249億5,000万円です。