マスク検査とは 1枚の原版の傷が全チップに写る EUV用はレーザーテックが装置
マスク検査は、回路の原版であるフォトマスクの欠陥を探す工程です。レーザーテックは、2027年6月期の受注を4000億〜5000億円と見込み、EUVとDUVのマスク関連装置の需要が増えているとしています。
電子顕微鏡などの理科学・計測機器と、半導体のマスクを描く電子ビーム描画装置などの産業機器を手がける。2026年3月期に医用機器事業を譲渡した。マルチビームマスク描画装置は先端半導体のマスク製造に使われる。
| コード | 6951 |
|---|---|
| 上場 | 東証プライム |
| 本社 | 東京都昭島市 |
| 分野 | 前工程装置 |
| 決算期末 | 3月 |
| 配当(会社予想) | 年間 1株132円(2027年3月期予想。中間66円) |
| 主な製品 | 電子顕微鏡・電子ビーム描画装置(マスク描画・スポットビーム)・分析機器 |
マスク検査は、回路の原版であるフォトマスクの欠陥を探す工程です。レーザーテックは、2027年6月期の受注を4000億〜5000億円と見込み、EUVとDUVのマスク関連装置の需要が増えているとしています。
電子線描画は、電子のビームでマスクやウエハーに回路の模様を直接描く技術です。ニューフレアテクノロジーのマルチビームの装置は、50万本を超えるビームで同時に描きます。
日本電子の2026年4〜9月期の営業利益は52億円で、前年同期から56.5%減りました。半導体のマスク描画装置の売上が落ちた一方、受注残高は1305億円と前年同期の1019億円を上回っています。
日本電子は、電子顕微鏡と半導体のマスクを描く電子ビーム描画装置を柱とする計測機器メーカーです。2026年4〜9月期は売上高が19.8%減の658億円でしたが、9月末の受注残高は1305億円と前年同期の1019億円を上回りました。