超純水とは　半導体の洗浄に使う水、有機物は1ppb未満まで減らす

超純水は、半導体の工場で使う、不純物を極限まで減らした水です。理論上の完全な純水は作れないため、栗田工業は「現実に製造できる最も理論純水に近いもの」と説明しています。言葉自体が、半導体の発展とともに使われるようになりました。

純水との違い

純水は、主に水に溶けたイオン（電解質）の少なさで決まります。電気の通しやすさとシリカの量で測ります。超純水はそれに加え、有機物、生きた細菌、微粒子まで基準を決めて管理します。溶けた酸素や重金属のイオンも、ppb（10億分の1）の単位で管理します。

イオンが少ないほど、水は電気を通しにくくなります。この通しにくさが比抵抗です。理論上の純水の比抵抗は25℃で18.24MΩ・cmです。鉄のイオンが1リットルあたり1µg溶けただけで、17MΩ・cmに下がります。

半導体が細かくなるほど基準も厳しく

栗田工業の解説は、DRAMの集積度の世代ごとに、超純水に求めた基準の推移を示しています。

DRAMの世代と超純水の基準（栗田工業の解説から抜粋）

DRAMの世代	比抵抗（MΩ・cm）	生菌（個/L）	TOC（ppb）
256kビット	17〜17.5	50〜200	50〜200
1Mビット	17.5〜18	10〜20	30〜50
64M〜256Mビット	18.2超	0.5未満	2未満
256M〜1Gビット	18.2超	0.1未満	1未満

TOCは水に含まれる有機物の量の目安です。256kビットの世代の50〜200ppbから、1Gビットの世代では1ppb未満になりました。0.1µmの微粒子の数の基準も、1リットルあたり50〜500個から5個未満まで厳しくなっています。

装置をつくる会社、水を届ける会社

超純水をつくる装置は、日本では栗田工業、オルガノ、野村マイクロ・サイエンスなどが手がけます。野村マイクロ・サイエンスの2026年3月期の連結売上高は562億円、営業利益は66億円でした。売上高に対する営業利益の比率は11.7%です（計算）。

工場が動き出したあとの設備の運転も仕事になります。ジャパンマテリアルは、動力、空調、ガス、薬液、純水などの運転管理をまとめて請け負っています。

関連する用語

• 比抵抗：水の電気の通しにくさ。イオンが少ないほど大きくなります。
• TOC：全有機体炭素。水の中の有機物の量の目安です。
• クリーンルーム：ちりを管理した部屋。超純水と同じく工場の基盤の設備です。