フッ化水素とは　ステラケミファの半導体向け出荷は年7万3,800トン

フッ化水素は、フッ素と水素からなる化合物です。水に溶かした液をフッ化水素酸、略してフッ酸と呼びます。ガラスやシリコンの酸化膜（二酸化ケイ素）を溶かす強い性質を持ちます。この性質が、半導体の工場で使われる理由です。

酸化膜を取り除く

シリコンのウエハーは、空気に触れるだけで表面に薄い酸化膜ができます。回路を作る工程では、この膜や、わざと付けた酸化膜を、決まった場所だけ取り除く必要があります。フッ酸は、シリコンそのものはほとんど溶かさず、酸化膜を溶かします。不純物を極限まで減らした高純度品を、超純水で薄めて使います。

フッ素の化学はガスにもつながります。関東電化工業は1970年に国内で初めてフッ酸の電解の技術を確立し、エッチングや装置の掃除に使うフッ素系のガスをつくっています。

出荷量と原料の値段

ステラケミファは、決算の資料で半導体向けの高純度フッ化水素酸の出荷量を開示しています。

ステラケミファの半導体向け高純度フッ化水素酸の出荷量（トン）

期	上期	下期	通期
2023年3月期	37,200	35,200	72,400
2024年3月期	31,500	33,600	65,100
2025年3月期	36,800	35,700	72,500
2026年3月期	36,900	36,900	73,800

2026年4〜6月期は1万8,700トンでした。半導体向けの出荷先は日本、韓国、台湾、シンガポールなどです。

原料は無水フッ化水素酸です。同社が財務省の貿易統計から作った表では、中国から輸入したフッ化水素酸の平均価格は2027年3月期第1四半期が1kgあたり384円で、2026年3月期の欄の307円より25%高い計算です（計算）。同社の高純度薬品事業の4〜6月期の営業利益は9億円で、前年同期比9.6%減りました。

2019年の輸出管理の見直し

フッ化水素は、日韓の輸出管理の問題でも知られます。経済産業省は2019年7月、韓国向けのフッ化水素、フッ化ポリイミド、レジストの3品目の輸出を包括許可の対象から外し、1件ごとの許可を求める運用にしました。2023年3月23日からは、3品目を特別一般包括許可の対象に戻しています。同年7月21日には、韓国を輸出令の別表第3の国に再び加えました。

関連する用語

• 高純度化学薬品：洗浄やエッチングに使う液体の薬品の総称。
• ウエットエッチング：薬液で膜を溶かす加工。
• 特殊ガス：フッ素を含むガスなど、成膜やエッチングに使う高純度のガス。