検査装置とは　「探す」検査と「測る」計測で工程の不良を早く見つける

半導体は、何百もの工程を何週間もかけて通してつくります。最後に電気を流して初めて不良とわかるのでは、その間に流した大量のウエハーが無駄になります。そこで、工程の途中で表面を調べ、異常があればすぐに装置の条件を直します。そのための装置が検査装置と計測装置です。

探す装置と測る装置

プロセス管理の装置の主な種類

種類	何を調べるか	主な方式
パターン付きウエハーの欠陥検査	回路の欠け、つながり、異物	光の画像の比較、電子の線
パターンなしウエハーの検査	素のウエハーや膜の上の粒、傷	レーザーの散乱光
マスク検査	回路の原版（フォトマスク）の欠陥	光、EUVの光
寸法の計測（CD）	線の幅、穴の直径	電子顕微鏡（CD-SEM）、光の反射（OCD）
膜厚・重ね合わせの計測	膜の厚さ、上下の層のずれ	光の干渉、画像

検査は「どこかに異常がないか」を広く速く探す仕事で、計測は「決めた場所の寸法が合っているか」を正確に測る仕事です。見つけた欠陥は、電子顕微鏡で拡大して種類を分け、どの工程で生まれたかを突き止めます。

主な会社と数字

KLAは検査・計測を主力とする米国の会社です。2026年7〜9月期の売上は41億3600万ドルで、うちプロセス管理が37億5400万ドルと9割強を占めました（比率は計算）。米オント・イノベーションは同期間の売上が4億970万ドルで、前年同期の2億1820万ドルから87.8%増えました。会社は、AIや高性能計算向けの複雑な構造のチップで、プロセス管理の必要が増えていると説明しています。先端パッケージ向けの検査装置の売上が過去最高でした。

日本では、フォトマスクの検査装置のレーザーテック、CD-SEMでトップシェアを持つとする日立ハイテクが知られます。レーザーテックの2026年7〜9月期の半導体関連装置の売上高は238億円でした。

検査・計測の主な会社の直近の数字

会社	項目	数字
KLA（米）	プロセス管理の売上（2026年7〜9月）	37億5400万ドル
オント・イノベーション（米）	売上（2026年7〜9月）	4億970万ドル
オント・イノベーション（米）	受注残（9月末）	13億ドル超
レーザーテック	半導体関連装置の売上（2026年7〜9月）	238億円

テスターとの違い

アドバンテストなどがつくるテスターは、チップに電気信号を入れて、設計どおりに動くかを確かめる装置です。検査装置が「見た目」から異常を探すのに対し、テスターは「動き」で良否を決めます。工場では両方を組み合わせ、見た目の欠陥と電気の不良の場所を照らし合わせて原因を探します。

関連する用語

• 歩留まり：投入したチップのうち良品になった割合です。検査装置はこれを上げるために使います。
• レビューSEM：見つけた欠陥を電子顕微鏡で拡大して確かめる装置です。
• インライン：製造ラインの途中で、流れを止めずに調べることです。

KLAは2026年10〜12月期の売上を47億ドル（上下2億ドル）、オント・イノベーションは4億3000万〜4億5000万ドルと見込んでいます。